卷绕磁控溅射镀膜机器 特殊膜层 非标定制

卷绕连续镀膜机：

     磁控溅射卷绕镀膜机工作原理与特点：采用磁控溅射（直流、中频、射频）方法把各种金属、合金、化合物、陶瓷等材料沉积到柔性基材上，进行单层或多层镀膜。

  适合在柔性基材上镀制各种介质膜（sio2,si3n4,al2o3,sno2,zno,ta2o5等）、导电膜（ito,azo）、ar减反膜、hr高反膜、低辐射low-e膜、合金膜和金属膜（al,cr,cu,fe,ni,sus不锈钢,tial等）等。

 

主要应用于：柔性线路板、ito透明导电膜、薄膜电容、汽车/火车/轮船等贴膜、薄膜太阳能电池、柔性太阳能电池fpd平板显示，柔性显示器件等方面。 磁控溅射卷绕镀膜机一般由不锈钢真空室体、卷绕系统、冷温媒装置、充气系统、平面或柱状磁控溅射源、电源、真空系统、水冷系统、在线检测装置、电控部分及其辅助装置等组成。